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EDX和EDS都是元素分析仪器,但是它们的原理不同,EDX是通过荧光分析来区分元素的,而EDS则是通过能谱分析来区分元素的,EDS能量色散溥仪,按能量展谱,主要器件为Li-Si半导体探测器,主要利用X光量子的能量不同来进行元素分析。
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