半导体设备有哪些

半导体设备主要包括光刻机、蚀刻机、扩散炉、离子注入机、化学气相沉积设备(CVD)、物理气相沉积设备(PVD)等，这些设备在半导体制造过程中起到关键作用，用于制作集成电路、微处理器等电子元器件，随着科技的发展，半导体设备不断创新，从而推动了全球电子信息产业的繁荣。